無塵潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室，潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵潔凈室，污染敏感零件不可能批量。在 FED-STD-2里面，無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

基本常識

一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。

二、無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此****利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

三、無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的凈化設(shè)備之一，它可以限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無塵潔凈區(qū)域，達(dá)到車間所要求的潔凈環(huán)境。

四，無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非****沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的上，無塵是必然的要求。

伍.每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。應(yīng)用在芯片級加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

管理制度規(guī)范

一、目的：在過程中做好衛(wèi)生監(jiān)測與管理，防止交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量起到重要的作用，因此特質(zhì)定無塵潔凈室潔凈區(qū)工藝衛(wèi)生管理制度。

二、范圍：適用于潔凈車間的人流，物流及車間的環(huán)境，設(shè)施潔凈有關(guān)的其它元素的管理

三、工作程序：

1、進(jìn)入潔凈區(qū)工作的人員須經(jīng)過體檢，取得健康證后才能上崗，每年復(fù)查一次，如果不合格者，****調(diào)出，患有感冒的工作人員不得進(jìn)入潔凈區(qū)工作。

2、潔凈區(qū)每個人所占面積不得少于4平方米

3、潔凈區(qū)內(nèi)工作服管理見《潔凈區(qū)工作服管理制度》

4、每天下班后潔凈車間要用紫外燈消毒60分鐘，并填好“紫外燈消毒記錄”每月用甲醛熏蒸一次，時間半個小時，并填寫“熏蒸消毒記錄”

5、人流出入潔凈區(qū)****按以下程序和要求進(jìn)行。

人進(jìn)-------換鞋-----脫外衣------洗手------穿潔凈服-------手消毒-------風(fēng)林

潔凈區(qū)------出門口------脫潔凈服-------穿外衣-----換鞋-------人出

6、消毒液的配制由專人負(fù)責(zé)，采用0.3?消毒液進(jìn)行消毒

7、物流進(jìn)入潔凈區(qū)****按以下程序和要求進(jìn)行：

物品-----脫外包裝室-----雙層傳遞窗------潔凈區(qū)-------雙層傳遞窗------包裝室

8、進(jìn)入潔凈區(qū)的零件及原輔材料，****脫外包裝經(jīng)雙層傳遞窗，出來的產(chǎn)品需經(jīng)包裝封口后從傳遞窗流出

9、每天下班后，操作工做好工作臺面，地面，凳子的清潔工作，每周墻壁頂棚清潔一次，并填寫“潔凈車間衛(wèi)生記錄”

10、凡進(jìn)潔凈區(qū)都不得留長指甲，不得涂指甲油，不得戴戒指，手鐲，手表，項鏈，不準(zhǔn)吃東西，不得大聲喧嘩，不得穿工作服離開潔凈區(qū)或未穿工作服進(jìn)入潔凈區(qū)，口罩配戴****規(guī)范

11、潔凈區(qū)的周轉(zhuǎn)箱應(yīng)用無孔帶蓋周轉(zhuǎn)箱，不得與非潔凈區(qū)內(nèi)的周轉(zhuǎn)箱交叉使用。

12、周轉(zhuǎn)箱在保證其潔凈度的前提下，每周清洗不少于1次，保證其潔凈度，并填寫“工作器具清洗消毒記錄”

13、潔凈區(qū)的工裝每天下班后操作工要做維護(hù)保養(yǎng)，保持工裝潔凈

14、凡進(jìn)入潔凈區(qū)檢測和用的壓縮空氣都需經(jīng)過凈化處理

15、潔凈車間在過程中，零配件掉在地上****清洗后方可復(fù)用，裝配時產(chǎn)品不得與拖地

16、潔凈區(qū)操作工每隔2個小時，須用酒精擦拭手消毒一次，以防止人手汗或表皮脫落對產(chǎn)品質(zhì)量造成影響

17、每天下班時，****將制品放在周轉(zhuǎn)箱內(nèi)，并加蓋，防止污染

18、凈化車間內(nèi)的照明裝置每二個月檢查保養(yǎng)一次，以保證使用的完全，潔凈和照明度

19、紫外燈應(yīng)每個編號，具體記錄其開始使用時間，累計使用時間，使用超過800小時應(yīng)更換，也可以每年檢測一次紫外線強(qiáng)度，強(qiáng)度不到的應(yīng)更換，燈具每周用酒精擦拭一次，并做好記錄

管理規(guī)范：

1、進(jìn)入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進(jìn)入，物料進(jìn)入，各類設(shè)備的搬

入以及相關(guān)的設(shè)備，管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室

2、操作管理技術(shù)，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等

3、嚴(yán)格各類設(shè)備，設(shè)施的維護(hù)管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備，設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn)，包括凈化系統(tǒng)，各類水，氣，電系統(tǒng)，工藝設(shè)備和工具（工具夾）等，以確保產(chǎn)品工藝要求和空氣潔凈度級別

4、清掃，滅菌管理，對潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備，設(shè)施的清掃，滅菌以及方法，周期和檢查明確的規(guī)定，防止，梢除潔凈室內(nèi)塵粒，微生物的，滯留，繁殖

5、潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化，潔凈建筑，與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和設(shè)備，工具等的污染物控制以及微粒振動，噪音，靜電的控制，防止等。

凈化原理

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細(xì)菌） → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。

重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

技術(shù)參數(shù)

換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；

萬級15－25次/小時；

千級50－52次/小時;

百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；

壓差：不同等級的潔凈室之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外之間的壓差不應(yīng)小于10Pa；

溫度:

對工藝有溫濕度要求的潔凈室：按工藝要求確定

對工藝無溫濕度要求的潔凈室：夏季24~26℃；冬季20~22℃；

人員凈化及生活用室：夏季26~30℃；冬季16~20℃；

潔凈室的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的值：

1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。

2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

結(jié)構(gòu)材料

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2.地面采用環(huán)氧自流平或**耐磨塑料潔凈地板。

3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

組成系統(tǒng)作用

過濾器

過濾器的基本知識

過濾器是潔凈室的主要凈化設(shè)備，是空氣凈化的主要手段。因此，對于從事潔凈室設(shè)計、建造和維護(hù)管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。

1.過濾器的分類

按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞、（HEPA）和超（ULPA）六類過濾器。

我國**標(biāo)準(zhǔn)《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下：

**標(biāo)準(zhǔn)《空氣過濾器》GB13554-92中規(guī)定將過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超過濾器（或稱為0.1μm過濾器或超低透過率過濾器）。

性能指標(biāo)性能類別

額定風(fēng)量下的大氣塵限徑計數(shù)效率（E %）

額定風(fēng)量下的初阻力（Pa）

初效

≥ 5.0μm

80 > E > 20

≤ 50

中效

≥ 1.0μm

70 > E > 20

≤ 80

高中效

≥ 1.0μm

90 > E > 70

≤ 100

亞

≥ 0.5μm

99.9 > E > 95

≤ 150

國外將超過濾器（ULPA）的過濾效率指標(biāo)規(guī)定為對于≥0.12μm粒子的過濾效率E≥99.9995%。

性能指標(biāo)性能類別

效率（E %）

額定風(fēng)量下的初阻力（Pa）

A

額定風(fēng)量下的鈉焰效率

≥ 99.9

≤ 190

B

額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量下的鈉焰效率

≥ 99.99

≤ 220

C

額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量下的鈉焰效率

≥ 99.999

≤ 250

D

額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量下的≥0.1μm粒子效率

≥ 99.999

≤ 280

關(guān)于我國和歐美對過濾器的分類比較如下：

我國標(biāo)準(zhǔn)GB/T 14295

一般通風(fēng)用

潔凈室用

粗效

中效

高中效

亞

高 效

超

美國ASHRAE標(biāo)準(zhǔn)

C1

C2 C3 C4

L5 L6

L7 L8

M9 M10

M11 M12

M13

M14

H15

H16

UH17 UH18

UH19

UH20

傳遞窗

1 目的：不耐高溫、高壓滅菌方法滅菌的物品傳人屏障系統(tǒng)的滅菌方法。

2 依據(jù)：《實驗動物管理條例》(中華人民共和國**科學(xué)技術(shù)委員會令第2號，1988)，《動物飼養(yǎng)設(shè)施條件要求》(中華人民共和國**標(biāo)準(zhǔn)，2001)。

3 操作規(guī)程：

1、用0.5%過氧乙酸或5%碘伏液擦拭待傳遞的物品。

2、打開傳遞窗外側(cè)門，迅速放置待傳遞物品，用0.5%過氧乙酸噴霧消毒傳遞窗，關(guān)閉傳遞窗外側(cè)門。

3、開啟傳遞窗內(nèi)的紫外燈，紫外照射待傳遞物品不少于15分鐘。

4、通知屏障系統(tǒng)內(nèi)的實驗人員或工作人員，打開傳遞窗內(nèi)側(cè)門，取出物品

風(fēng)淋室

1、概述：風(fēng)淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設(shè)備，用于吹除進(jìn)入凈化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃，同時風(fēng)淋室也起到氣閘的作用，防止未經(jīng)凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域，是進(jìn)行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區(qū)的有效設(shè)備。

結(jié)構(gòu)：系列風(fēng)淋室均采用發(fā)泡隔熱彩色壁板及鋁合金構(gòu)件裝備而成，配置離心機(jī)風(fēng)機(jī)及初效和空氣過濾器，具有外型美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、檢修方便、操作簡單等特點。

2、原理：風(fēng)淋室內(nèi)的空氣由風(fēng)機(jī)的作用經(jīng)初效過濾器進(jìn)入靜壓箱，經(jīng)空氣過濾器過濾后，潔凈空氣從風(fēng)淋室的噴嘴高速噴出，噴嘴角度可調(diào)節(jié)，可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃，吹下的塵埃再回收進(jìn)入初效空氣過濾器，如此循環(huán)可以達(dá)到風(fēng)淋的目的。

3、用途及特點:風(fēng)淋室是操作人員進(jìn)入潔凈室時使用的人身凈化裝置，它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進(jìn)入室內(nèi)人員身上的污物，其噴嘴可調(diào)節(jié)，以便有效除去人身上的灰塵，并阻止外界污染進(jìn)入潔凈區(qū)域。它也可應(yīng)用于大件貨物的吹淋。

4、設(shè)備組成：主要由室體、照明、過濾系統(tǒng)、風(fēng)機(jī)組、吹嘴、電控等部分組成。

(1)、室體：壁板采用彩鋼保溫板，其內(nèi)外板均為彩鋼板，中間填充60mm厚聚苯乙烯材料，PU發(fā)泡連續(xù)成型；內(nèi)外板與保溫材料整體壓制而成一體。人員進(jìn)出大門尺寸為（寬×高）mm：700×1800。

(2)、室內(nèi)照明：在室體的頂部安裝照明燈，燈管采用飛利浦光源，既安全又節(jié)能且維護(hù)方便，鎮(zhèn)流器采用噴房專用鎮(zhèn)流器，保證光強(qiáng)≥500Lx。

(3)、送排風(fēng)系統(tǒng)：

a、送排風(fēng)的配置方案采用1套送風(fēng)機(jī)組，配置一臺送風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)采用離心風(fēng)機(jī)。采用1套排風(fēng)機(jī)組為室體排風(fēng)，

b、萬向吹嘴：室內(nèi)空氣采用設(shè)置在室體頂部和側(cè)面的萬向吹嘴吹向操作人員的不同角落，確保潔凈質(zhì)量。

c、控制系統(tǒng)：采用進(jìn)口或合資元器件使整個控制系統(tǒng)具有較高的可靠性。

一. 風(fēng)淋室的操作規(guī)程：

二、目的： 保持風(fēng)淋的安全使用，維持潔凈室環(huán)境的潔凈度。

三、風(fēng)淋室的使用：

1、進(jìn)入潔凈無塵室的人員應(yīng)在外更衣室脫去外衣，除下手表、手機(jī)、飾品等物品。

2、進(jìn)入內(nèi)更衣室，穿戴凈化無塵衣、帽、口罩、手套。

3、拉開不銹鋼風(fēng)淋門人員進(jìn)入風(fēng)淋室后，風(fēng)淋門立即自動關(guān)閉外門，紅外線(聲控/人體熱能)感應(yīng)，風(fēng)淋自動啟動，吹淋15秒(出廠已設(shè)置)。注意：風(fēng)淋室在吹淋時兩個不銹鋼門不能同時打開，如強(qiáng)行打開將損壞電子鎖，風(fēng)淋室兩門是電子互鎖控制。

4、風(fēng)淋室吹淋結(jié)束后，推開出門進(jìn)入潔凈無塵室。

四、風(fēng)淋室的管理：

1、風(fēng)淋室由責(zé)任人管理，每季度定期更換初效濾材。

2、每2年更換風(fēng)淋室的過濾器(有隔板)。

3、應(yīng)輕開輕關(guān)風(fēng)淋室內(nèi)、外門。

4、在使用過程中人員請不要隨意觸摸開關(guān)，和調(diào)節(jié)智能語音提示系統(tǒng)。

5、遇風(fēng)淋室發(fā)生故障時，應(yīng)及時關(guān)掉急停開關(guān)，報維修人員修理。一般情況下不準(zhǔn)啟動手動按鈕。

FFU層流罩

FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實踐證明無可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是：

(1)采取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內(nèi);

(2)電動機(jī)采用DC/EC(電子整流電機(jī))，以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%，因為小風(fēng)機(jī)所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機(jī)，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75～80%;在調(diào)速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗，但投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。

(3)但FF瓣出口靜壓不能過大，一般采用出口風(fēng)速成0.38m/s，此時其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。

一. FFU回風(fēng)系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點

一般評價

優(yōu)點：

(1)靈活性大，便于改造;

(2)占用建筑物空間較少;

(3)潔凈室內(nèi)空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。

缺點：

(1)要求回風(fēng)道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風(fēng)道)、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力(在初阻力時)，總共應(yīng)控制在165Pa左右，以滿足運行時阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風(fēng)道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風(fēng)道阻力在15Pa以內(nèi)，否則就需要再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點。

(2)采用DC/EC電機(jī)后，單位風(fēng)量的能耗可能比當(dāng)前一般大型離心風(fēng)機(jī)的集中系統(tǒng)為低，但已有研究指出，比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機(jī)的回風(fēng)系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機(jī)的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。

(3)一般FFU系統(tǒng)由于單位風(fēng)量的能耗較大，因此潔凈室的冷負(fù)荷亦相應(yīng)增加。

具體情況下的評價：

(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。

(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率****時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

(3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。

原材料和設(shè)備

除了人員進(jìn)出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進(jìn)出也****經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。

其進(jìn)潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。

原材料及設(shè)備進(jìn)出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000級房間，工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或原材料時****穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或丙酮化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA及丙酮具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面，****事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。

無塵潔凈室用品

清潔室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。

潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì)，另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也****完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。

潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示）無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行，并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔凈區(qū)為2～3天，其他區(qū)域則為5天～1星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。洗滌衣置放場所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用

在潔凈室中，人是決定微粒污染物產(chǎn)生的重要因素。潔凈室內(nèi)工作的人員都應(yīng)當(dāng)充分了解個人衛(wèi)生習(xí)慣對潔凈室潔凈程度的影響有多大，這才是重要的。上海凈化工程為您介紹潔凈室工作人員應(yīng)遵循的規(guī)程，有關(guān)服裝和個人用品方面的要求，供讀者參考。

至于珠寶首飾，工作人員可以戴結(jié)婚和訂婚戒指，但不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指，因為它們可能會刺穿手套或者衣服。如果一定要戴這種戒指，就需要在戴手套和穿潔凈服之前用帶子把它們纏起來。建議不要佩戴懸垂式耳環(huán)、項鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品，即便它們一般都是藏在衣服里面，也不要佩戴這些飾物。因為這些東西可能會干擾潔凈室或者實驗室的正常活動。

個人物品，例如香煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲物柜里，不能把它們帶進(jìn)潔凈室。除非管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。在進(jìn)入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護(hù)目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。

干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產(chǎn)品。一次性鞋套每天更換一到兩次。大多數(shù)更衣室都有干凈的一邊和污染的一邊，潔凈室人員應(yīng)該始終按規(guī)定執(zhí)行。不能穿著鞋套走出更衣室，又穿著同一雙鞋套走進(jìn)來。

戴蓬松的圓帽。正如前面所說的，頭發(fā)，包括劉海，****完全藏在帽子里，不能露出來。只能在潔凈室或者更衣室外面把帽子摘掉，也不能在潔凈室里脫帽子。在潔凈室或者更衣室外面戴過的帽子也不能再次使用了。

對于穿著的潔凈服，建議每周更換一到兩次，或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個程序上的規(guī)定也不一樣。****時刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。與地板接觸會污染衣服。

如果需要戴手套，****使用潔凈室專用的無粉乳膠手套或者丁腈膠手套。因為有的人對乳膠中的蛋白質(zhì)過敏，如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點，建議改用丁腈膠手套。一旦手套褪色或者有破洞****馬上更換，但不能在潔凈室里更換，只能在更衣室里更換手套。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套，應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來。

吸塵器系統(tǒng)

潔凈室吸塵器是無塵廠房、車間專用的強(qiáng)力真空專用吸塵器，可迅速、便捷、地完成清潔工作。

特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。

當(dāng)你使用專用吸塵器時，可以減少您清潔廠房的次數(shù)，因為它不會二次擴(kuò)散灰塵，并可凈化室內(nèi)空氣。

有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。

超強(qiáng)的吸力可吸除更深層的粉塵。

設(shè)計新穎輕巧，符合人體工學(xué)，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。

專用吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質(zhì)，美國太空總署特別指定使用專用專用吸塵器清除貨倉內(nèi)的微細(xì)粉塵。

潔凈室吸塵器的主要組成：

大扒頭：當(dāng)清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。

小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺底部的灰塵和顆粒。

圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺臺面，清楚工作臺面細(xì)微的小顆粒

伸縮桿：增大清掃范圍領(lǐng)域。

軟管：機(jī)器正常工作時，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經(jīng)過吸口有軟管傳遞到**過濾系統(tǒng)。

集塵袋：潔凈室吸塵器的**過濾系統(tǒng)，也是為重要的環(huán)節(jié)，收集人眼能分辨的小顆粒，對保護(hù)馬達(dá)和過濾器有重要作用。

電源開關(guān)：

控制吸塵器的啟動和關(guān)閉。

過濾器：過濾器是吸塵器的第四大過濾系統(tǒng)，也是一個環(huán)節(jié)，過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之后的空氣達(dá)到100級以上。

工作原理：吸塵原理。吸塵器的風(fēng)機(jī)葉輪在電動機(jī)高速驅(qū)動下，將葉輪中的空氣高速排出風(fēng)機(jī)，同時使吸塵部分內(nèi)空氣不斷地補(bǔ)充進(jìn)風(fēng)機(jī)。這樣內(nèi)部與外界形成較高的壓差。吸嘴的塵埃、臟物隨空氣被吸入吸塵部分，并經(jīng)過漏器過漏，將塵埃、臟物及顆粒吸入沉桶內(nèi).

潔凈室吸塵器的技術(shù)參數(shù)

電壓

220-240

吸塵軟管

2.5m

功率

1200w

伸縮桿長度

1005mm

氣流

96CFM

容量

15L

吸氣量

3200mmH20

整機(jī)重量

10kg

真空吸力

22kpa

外形尺寸

403*403*736

噪音標(biāo)準(zhǔn)

62db

電源線長

10m

以上基本參數(shù)為樣本形式，供讀者參考與了解！

潔凈室吸塵器的使用與維護(hù)

使用吸塵器前，請先確保室內(nèi)電壓是否與本機(jī)額定電壓相符，本吸塵器已配置集塵袋，集塵袋為正確安裝前，請勿使用吸塵器

啟動與停止將電源線之電源插頭插到電源插座上，打開吸塵器電源開關(guān)，接通吸塵器馬達(dá)電源，吸塵完畢后，應(yīng)先關(guān)閉吸塵器電源開關(guān)，再拔掉電源線插頭

集塵袋更換 如集塵袋已滿，請先確保已關(guān)閉吸塵器電源或已將電源插頭從電源插座中拔除，把已滿的集塵袋取出，把新集塵袋口部裝入吸嘴卡中，再把新集塵袋拉好

袋式中效過濾器及馬達(dá)保護(hù)罩清洗袋式中校過濾器及馬達(dá)保護(hù)罩屬于可洗型，如袋式中效過濾器和馬達(dá)保護(hù)罩已贓物，請把他們?nèi)∠拢磧袅栏珊蟀床鹦恫矿E裝上即可，如有破損請及時聯(lián)系代理商或經(jīng)銷商更換。

使用完畢后請用無塵布探試干凈，置于干燥清潔處放置，請勿在潮濕環(huán)境及陽光直射環(huán)境中放置，這將導(dǎo)致不可預(yù)料的危險請不要用乙醇等有機(jī)溶劑探試機(jī)體表面機(jī)身如有贓物難以清除，用無塵布沾少許中性清潔劑探試，然后再用干布，擦干即可。吸塵器過濾器屬于精密器件，應(yīng)視馬達(dá)運轉(zhuǎn)時及使用環(huán)境及時更換，否則將影響馬達(dá)的使用壽命，中效式過濾器及達(dá)保護(hù)罩如有贓物應(yīng)及時清洗或更換，否則將影響過濾效果及影響吸塵器馬達(dá)使用壽命，集塵袋應(yīng)適馬達(dá)運轉(zhuǎn)時數(shù)及使用環(huán)境而適當(dāng)?shù)母鼡Q本吸塵器是干式吸塵器，請不要用于吸水及其他液體，亦不適用于防爆環(huán)境潔凈室吸塵器應(yīng)注意事項

為避免電擊及確保作業(yè)安全在使用吸塵器前，請先閱讀使用說明及安全注意事項

使用洗車器前，請先確保接入電源電壓和本機(jī)電壓相一致

使用吸塵器前，請先確保吸塵器吸入口未被堵塞

本吸塵器屬于干式吸塵器，僅限于干式吸塵器，請勿試圖用于吸取水及其他液體

本吸塵器非為防爆環(huán)境設(shè)計，請勿用于防爆環(huán)境及含有可燃?xì)怏w之場所

節(jié)能設(shè)計

一、低斷面風(fēng)速設(shè)計

斷面風(fēng)速就是空氣處理部件中空氣經(jīng)過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。

大部分工程師根據(jù)“經(jīng)驗”把空氣處理器設(shè)計成500英寸/分鐘。這樣的設(shè)計雖然節(jié)省時間，但是卻增加了運作費用。在低斷面風(fēng)速設(shè)計中，使用更大的空氣處理器和更小的風(fēng)機(jī)，從而降低空氣的流速，降低能耗和設(shè)壽命成本。

壓降決定了風(fēng)機(jī)的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷面風(fēng)速降低20%，那么壓降將下降36%；如果斷面風(fēng)速降低50%，壓降將下降四分之三。根據(jù)“立方定則”，風(fēng)機(jī)能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%，風(fēng)機(jī)能耗將下降88%。

因此，較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風(fēng)機(jī)能量，可以使用比較小的風(fēng)機(jī)和馬達(dá)。小風(fēng)機(jī)給空氣添加的熱量比較少，降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高，所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷面風(fēng)速情況下，工作效果更好、壽命更長。

設(shè)計減少了空氣和水的壓降，減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設(shè)計，幾乎沒有尖角，從而使壓降減少10%到15%。

設(shè)計也可以把壓降降低四分之一。目標(biāo)是使能量損耗降低至少25%，減小變速風(fēng)機(jī)的大小。**的斷面風(fēng)速范圍是250-450英尺/分鐘，具體取決于使用情況和能量消耗。

二、換氣次數(shù)

無塵車間維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數(shù)。流量根據(jù)每小時的換氣次數(shù)來確定，同時這也決定了風(fēng)機(jī)尺寸、建筑構(gòu)型和能量消耗。在保持潔凈度的前提條件下，空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。換氣次數(shù)降低20%就可以使風(fēng)機(jī)的尺寸降低50%。空氣潔凈度比節(jié)約能耗更重要，但是的研究成果已經(jīng)有降低潔凈成本的記載了。

關(guān)于換氣次數(shù)還沒有達(dá)成共識。許多原則都已過時，是建立在老觀念上，采用低效的空氣過濾器。調(diào)查顯示，ISO第5級標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室推薦的換氣次數(shù)變化范圍是從250到700以上。

美國的一所**實驗室正在確定ISO第5級無塵車間的標(biāo)準(zhǔn)。研究顯示，實際換氣次數(shù)范圍是90到250――比操作規(guī)程標(biāo)準(zhǔn)低很多，而且不會影響和潔凈度。因此建議ISO第5級潔凈室的換氣次數(shù)大約是200，保守的上限是300。

三、馬達(dá)效率

馬達(dá)消耗了潔凈室的大部分電能。連續(xù)運轉(zhuǎn)的馬達(dá)每月消耗大量的電力。適當(dāng)?shù)靥崧省⑦m當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)尺寸，在翻新后，經(jīng)濟(jì)效果多半是不錯的。效率增加幾個百分點，利潤就可增加。

使用的馬達(dá)，不一定會花費太多。率意味著小，在改變馬達(dá)的尺寸之前先盡量減小負(fù)荷。在輸出量變化時，利用變速驅(qū)動可以提高操作效率。

四、變速驅(qū)動的冷凍機(jī)

變速驅(qū)動冷凍機(jī)能節(jié)省大量的能量和****。許多無塵車間的設(shè)計人員和操作人員認(rèn)為，沒有必要使用變速驅(qū)動冷凍機(jī)，因為負(fù)荷通常是恒定的，多級冷凍機(jī)機(jī)組通常控制為高負(fù)荷運轉(zhuǎn)。但是負(fù)荷恒定的冷凍機(jī)通常工作在滿負(fù)荷以下。變速驅(qū)動冷凍機(jī)通常工作在全負(fù)荷的90%-95%以節(jié)省能量。一臺1000噸的冷凍機(jī)穩(wěn)定工作在滿負(fù)荷的70%，如果使用了變速驅(qū)動，每年就可節(jié)省兩萬到三萬美元。根據(jù)商的數(shù)據(jù)，電能的價格是0.05美元/千瓦時，這樣大約一年就可以回收成本。

多級冷凍機(jī)冷水式機(jī)組很少高負(fù)荷運轉(zhuǎn)。通常情況下，現(xiàn)場負(fù)荷通常不是正好匹配機(jī)組的能級變化。許多操作人員運行額外的冷凍機(jī)以求可靠，一旦某個冷凍機(jī)發(fā)生故障，其它的冷凍機(jī)可以立刻補(bǔ)充，接替其全部負(fù)荷，因此冷水式機(jī)組經(jīng)常是讓冷凍機(jī)在制冷能力的60%到80%運轉(zhuǎn)。

在購買新冷凍機(jī)的時候，指定購買變速驅(qū)動冷凍機(jī)是劃算的。用變速驅(qū)動冷凍機(jī)可降低能耗，同時讓其他冷凍機(jī)可靠性運行。有許多的研究和實驗證明，變速驅(qū)動冷凍機(jī)的效果是很好的。二十多年來，變速驅(qū)動冷凍機(jī)制造廠商制造出更可靠性的產(chǎn)品，用在新建的和升級的潔凈工廠里面。

面臨熱點問題

2.1有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用

潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;

(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

(3)自凈時間(恢復(fù)時間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設(shè)備的移動等都會造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來潔凈度的自凈時間決定于氣流速度;對自凈時間的控制要求取決于此時間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下)，對產(chǎn)品的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;

(4)末級過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較率的過濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積小;

(5)經(jīng)濟(jì)性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果;

(6)對潔凈度要求低的潔凈室，有時換氣次數(shù)決定于室內(nèi)排熱的要求。

以上因素，皆很難量化，只能分析對比并估計。因此在工程應(yīng)用中，對潔凈室的氣流速度往往參照有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值，再按具體情況估計以上各影響因素進(jìn)行綜合考慮后確定。

氣流速度用于單向流潔凈室;非單向流潔凈室宜用換氣次數(shù)，因為其氣流速度難于測準(zhǔn);亦有用末級過濾滿布率來反映的，可用于各種氣流流型的潔凈室，一般滿布率****相對于流速0.5m/s(100fpm)，25%相對于0.125m/s(25fpm)。當(dāng)前有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等的推薦或參考值見表1。

注：1、ISO14644-4對于氣流速度/換氣次數(shù)是明確作為參考資料的，表中所列僅適用于微電子及IC工廠;對制藥廠只列ISO5級氣流速度>0.2m/s，對ISO6～8級皆未列出參考值。

2、(M)指混合流，N指非單向流;*指對污染源已采取有效的隔離措施的潔凈區(qū)。

表1中有關(guān)氣流速度和換氣次數(shù)的推薦或參考值，應(yīng)該說是經(jīng)驗的反映。如ISO/DIS14664-4提出的數(shù)值皆明確適用于那類潔凈室的;IEST的推薦值亦是被一些權(quán)威機(jī)構(gòu)認(rèn)為僅適用于半導(dǎo)體工廠。由于具體情況變化較大，有的經(jīng)驗值可能已不適合當(dāng)前的室內(nèi)塵源控制措施及過濾器效率提高的情況。

2.2對有關(guān)推薦或參考值的討論

近年來不少人通過實驗認(rèn)為這些推薦或參考值過于保守，其論點可歸納為：

(1)潔凈室內(nèi)氣流的橫向擴(kuò)散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流速0.05～0.1m/s就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴(kuò)散性能遠(yuǎn)低于對流性能;而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再卷入。因此，潔凈室的理想自凈時間Tr=體積/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實際的Tr并不再有明顯的減少。

(2)末級過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當(dāng)前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的潔凈室內(nèi)含塵濃度穩(wěn)定公式可以得出：

(a)室內(nèi)發(fā)塵量較高時，末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的。

(b)室內(nèi)發(fā)生塵量較低的情況下，采用低的氣流速度下，末級過濾器效率的變速器變化，對潔凈度的影響增大。

以上情況可以引用的圖1a～1c看出。

作圖有關(guān)數(shù)據(jù)：

新風(fēng)進(jìn)末過濾器前的含塵濃度1.75×106個/m3

室內(nèi)發(fā)生量:G1=350個/m3.min

G2=3500個/m3.min

G3=35000個/m3.min

G4=350000個/m3.min

新風(fēng)量對于全空氣量的比率0.03

當(dāng)前有的IC工廠其ISO5級(0.3μm)的潔凈室，采用FFU系統(tǒng),帶ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口風(fēng)速為0.38m/s，其滿布率為25%，這樣室內(nèi)平均氣流速度為0.095m/s，在各有關(guān)推薦或參考值的下限下。此潔凈室的工藝加工在微環(huán)境內(nèi)潔凈室內(nèi)的人員亦較少，可以認(rèn)為潔凈室內(nèi)發(fā)生較低，這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。

據(jù)報道，IEST對潔凈室內(nèi)氣流速度推薦值的下限有所降低，如：

≤ISO5級：氣流速度0.2～0.5m/s;

ISO6級或5級(非單向流);換氣次數(shù)>200次/h;

ISO7級：換氣次數(shù)20～200次/h;

ISO8級：換氣次數(shù)2～20次/h;

等級標(biāo)準(zhǔn)

ISO/DIS 14644-1 潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮粒子濃度的分級

ISO分級 大于等于表中所列粒徑懸浮粒子允許濃度（顆/m3）

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

ISO1級 10 2

ISO2級 100 24 10 4

ISO3級 1000 237 102 35 8

ISO4級 10000 2370 1020 352 83

ISO5級 100000 23700 10200 3520 832 29

ISO6級 1000000 237000 102000 35200 8320 293

ISO7級 　 　 　 352000 83200 2930

ISO8級 　 　 　 3520000 832000 29300

ISO9級 　 　 　 35200000 8320000 293000

《藥品 規(guī)范》(1992年修訂)

潔凈級別 活粒數(shù)/立方米 活微生物數(shù)/立方米

≥0.5μm ≥5μm

100 級 ≤3,500 0 ≤5

10,000 級 ≤350,000 ≤2,000 ≤100

100,000級 ≤3,500,000 ≤20,000 ≤500

潔凈手術(shù)部潔凈用房等級標(biāo)準(zhǔn)

等級 沉降（浮游）細(xì)菌平均濃度 表面染菌密度 空氣潔凈度級別

手術(shù)區(qū) 周邊區(qū) 手術(shù)區(qū) 周邊區(qū)

I 0.2個/30minΦ90皿（5個/ m3） 0.4個/30minΦ90皿（10個/ m3） 5個/cm2 100級 1000級

II 0.75個/30minΦ90皿（25個/ m3） 1.5個/30minΦ90皿（50個/ m3） 5個/cm2 1000級 10000級

III 2個/30minΦ90皿（75個/ m3） 4個/30minΦ90皿（150個/ m3） 5個/cm2 10000級 100000級

IV 5個/30min，Φ90皿（175個/ m3） 5個/cm2 300000級

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E

等級名稱 等極限值

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm

國際單位 英制單位 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3

M1 　 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283

M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 3.53 1.00

M2 　 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83

M2.5 10 1240 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0

M3 　 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3

M3.5 100 　 　 26500 750 10600 300 3530 100

M4 　 　 　 75700 21400 30900 875 10000 283

M4.5 1000 　 　 　 　 　 　 35300 1000 247 7

M5 　 　 　 　 　 　 　 100000 2830 618 17.5

M5.5 10000 　 　 　 　 　 　 353000 10000 2470 70.0

M6 　 　 　 　 　 　 　 1000000 28300 6180 175

M6.5 100000 　 　 　 　 　 　 3530000 100000 24700 700

M7 　 　 　 　 　 　 　 10000000 283000 61800 1750

常用單位換算

1米m = 3.28英尺ft 1CFM（ft3/min） = 0.4719L/s

1平方米m2 = 10.76平方英尺ft2 1CFS(ft3/s) = 28.32L/s

1立方米m3 = 35.3立方英尺ft3 1FPM(ft/min) = 0.00508m/s

1英制加侖gallon = 4.55升L 1BTU/h = 0.2931W

1美制加侖gallon = 3.79升L 1千瓦kw = 860千卡/小時kcal/h

1磅lb = 454克g 1USTR美國冷噸 = 3.516 kw

1馬力HP = 0.746千瓦kw 1巴bar = 100千帕kpa

1攝氏度℃ = 5(華氏度F-32)/9 1mmH2O(毫米水柱) = 9.8067帕Pa